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D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器（5SCCM-10SLM）

簡要描述：

D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器（5SCCM-10SLM）
D07-7B 氣體質(zhì)量流量控制器
★高性能價格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新?lián)Q代型

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D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器（5SCCM-10SLM）

D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器（5SCCM-10SLM）產(chǎn)品用途：

質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

★高性能價格比、普通型產(chǎn)品

★橡膠密封、模擬電路的MFC

★7A型的更新?lián)Q代型

★管狀分流，使用壽命長

技術(shù)參數(shù)：

滿量程流量范圍（N₂）	5SCCM～10SLM
控制范圍	2～100％F.S.
閥類型（及閥初始狀態(tài)）	電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度	±1.5％F.S.
線性	±0.5～1.5％F.S.
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時間	≤7sec
工作溫度范圍	5～45℃
工作壓差	0.1～0.5MPa
耐壓	3MPa
漏氣率	1×10^-8atm.cc/sec He
通道濕材料	316L不銹鋼、密封材料
靜密封材料	氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠）
電連接器	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet^TMmale
動密封材料	氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）
接頭選擇	VCR 1/4”
接頭選擇	雙卡套 1/4”或φ6、φ3
重量	1.1Kg

詳細(xì)參數(shù)：

產(chǎn)品型號	D07-7B
產(chǎn)品類型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度	±1.5％F.S.
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±1％F.S.
響應(yīng)時間	≤10sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	常閉
溫度系數(shù)	- 無 -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Female
工作壓差范圍	(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	- 無 -
重量	1.1Kg